SEMI F40 - 化学試験用の液体化学物質分配コンポーネントとニートポリマーの準備の実践 -

Abstract

E この規格は、誤りを修正するために 2022 年 6 月に編集上修正されました。 ¶ 10.4.2 に変更が加えられました。

この実務は、液体化学薬品分配システムのコンポーネントとその製造に使用されるニートポリマーを評価するために使用される化学試験方法の準備および前処理手順を定義します。

この実践には、チューブ、配管、バルブ、レギュレーター、継手、ガスケット、O リング、フィルターハウジングなどのコンポーネントやニートポリマーに適用できる準備手順が含まれています。

この実務は、SEMI F48 および SEMI F57 に共通する液体化学薬品分配システムのコンポーネントおよびニートポリマーの前処理および分析準備手順のすべてを定義および指定します。各タイプのコンポーネントまたはニートポリマーサンプルは、特定された化学試験方法を使用して試験する前に、この実施の手順に従って前処理および準備されなければなりません。

このプラクティスは、49% フッ化水素酸 (HF)、30% 過酸化水素 (H2O2)、29% 水酸化アンモニウム (NH4OH)、イソプロピル アルコール (IPA)、および超純水 (UPW) での使用を目的としています。この規定は、液体化学薬品供給システムのコンポーネントの抽出およびすすぎに使用できる化学薬品の純度を定義します。他の化学物質も同様に使用することができる。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI C69 — ポリマーペレットの表面積を測定するための試験方法

SEMI F48 — ポリマー材料中の微量金属を測定するための試験方法

SEMI F57 — 超純水および液体化学薬品供給システムで使用されるポリマー材料およびコンポーネントの仕様

改訂履歴
SEMI F40-0621E (改訂版)
SEMI F40-0621 (技術改訂)
SEMI F40-0699E (再承認 0918)
SEMI F40-0699E (編集改訂版)
SEMI F40-0699 (初公開)

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