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SEMI F40 - 化学試験のための薬液分配部品の準備についての作業方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本実施法は、Global Facilities Committeeで技術的に承認されたもので、North American Facilities Committeeが直接責任を負うものである。 現版は1998年12月18日にNorth American Regional Standards Committeeにて承認されている1999年2月にまずSEMI On Lineで入手可能となり、1999年6月発行に至る。
本書は2005年5月に参照項目の訂正のため、編集上修正された。
この文書は、薬液分配システム部品を評価するために用いられる化学試験方法についての部品の準備及び前処理の手順を規定する。
この文書は、チューブ、パイプ、バルブ、レギュレータ、継手、ガスケット、Oリング及びフィルタハウジングのような部品に適用できる準備手順を含みます。
この文書は、薬液分配システム部品の列挙された試験方法（表３参照）に共通した部品前処理及び分析基準の全てを定義し、仕様を決定する。方法を用いて試験される前に，この文書の手順に従って前処理され，準備されるべきである。
この文書は薬液分配システム部品を評価するために用いられる化学試験方法についての部品の準備及び前処理の手順を規定する。 4 OH，IPA及び超純水の使用について定めている。 この文書は、薬液分配システム部品を溶出及び洗浄するために使用される化学物質の純度を規定する。
参照されるSEMI規格なし。
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