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SEMI F39 - 化学混合システムのガイド -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
このガイドでは、用語とブレンド手法を確立します。 分類、システム仕様、パフォーマンス特性評価、および 液体化学混合装置の認定方法。
このガイドは化学混合装置に適用されます バルク化学品供給システム (BCDS) と接続されています。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
SEMI E49 — 高純度および超高純度のガイド 配管性能、サブアセンブリ、最終アセンブリ
SEMI E49.2 — ポリマーの認定ガイド 半導体装置の液体化学システムに使用されるアセンブリ
SEMI F57 — ポリマー材料およびポリマー材料の仕様 超純水および薬液供給システムで使用されるコンポーネント
SEMI S2 — 環境、健康、安全に関するガイドライン 半導体製造装置
改訂履歴
SEMI F39-0621 (技術改訂)
SEMI F39-0315 (完全な書き換え)
SEMI F39-0699 (初公開)
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