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SEMI F38 - ポイントオブユースガスフィルターの効率認定のための試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意:このドキュメントは 2019 年に完全に書き直されました。
この文書の目的は、 粒子濾過を評価するための包括的な標準テストシーケンス 使用時点 (POU) ガスフィルターを使用して効率を達成できます。
このテスト方法は、次の評価方法を定義します。 さまざまな媒体（金属、セラミック、ポリマーなど）の POU フィルターは通常、 半導体用途における不活性ガスやプロセスガスのフィルタリングに使用されます。 POU フィルターは比較的低い流量 (0.5 ～ 50 slm) を処理するように設計されており、 適度に高い圧力降下。フィルターハウジングと濾過エレメントは、 密封された分離不可能な 1 つのユニットに結合されます。
このテスト この方法は、POU ガスフィルターの同等または同等の能力を実証することを目的としています。 に挑戦した場合、特定の粒子濾過効率クラスを超えます。 § に記載されているサイズ範囲の単分散エアロゾル
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