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SEMI F37 - ガス供給システム構成部品の表面粗さパラメーターの算出方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 www.semi.orgで入手可能となる。初版は1999年2月発行。前版は2004年11月発行。
注意: この文書は、編集上の修正を考慮して再承認されました。
この試験方法の目的は，ガス供給システム構成部品上で測定される表面粗さパラメータの数値を算出する方法を定義することである。利用者間で比較可能なデータを作成することである。
参照されるSEMI規格なし。
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