SEMI F34 - 液体化学薬品配管ラベリングに関するガイド -

Abstract

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注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

本書では、半導体製造施設および装置において使用される液体プロセス化学薬品配管システムのラベリングについて推奨される方式を確立する。

一貫したラベリングシステムは，配管内容の迅速な識別を容易にするものであり，従来または各地域が独自のガイドを作成する必要性をなくすことによって産業における混乱を警戒する。

本ガイドは、通常、半導体製造プロセス用の液体プロセス化学薬品配管システムにおいて見出される構成部品について適用する。 。

• 配管
• バルブ
• フィルタ
• レギュレータ
• チューブ

なし。

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