SEMI F12 - 熱サイクルを受けた後のフルオロカーボン材料製の継手のシール能力を決定する試験方法 -

Abstract

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この方法は、フッ素樹脂製フィッティングを周囲温度の上昇にさらし、室温まで冷却した後 (以下、「ヒート サイクル」と呼びます) のシール能力を測定するための均一な手順を提供します。

この方法は、ここで説明した条件下で得られたテストデータに基づいてチューブ継手接続の熱特性を特徴付けるために使用できますが、結果は性能評価を示唆するものではありません。

このテスト方法を使用する場合、フィッティング体温範囲は 23°C ～ 125°C (73°F ～ 257°F) に維持する必要があります。

このメソッドで定義されるチューブはフルオロカーボン材料で作られています。

この方法で定義されるチューブ継手は、内部流体と接触するすべての部品がフッ素系材料で作られています。ナットやグリッパーなどの部品の材質はフッ素樹脂に限定されません。

評価対象のチューブとチューブ継手の間のシールのみがこの文書の範囲内です。他のすべてのシールは、この文書の範囲外です。

さまざまなチューブ継手メーカー間の比較にこの方法を使用する場合、ユーザーは評価するチューブおよびチューブ継手の選択を具体的に行う必要があります。

なし。

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