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SEMI F11 - フッ素樹脂製チューブの熱的特性指標を得るための試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
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免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。
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注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
本方法は、フッ素樹脂製チューブの熱的特性を決定するための標準手順を規定する。
この方法は、以下に定める条件のもとで得た試験データをベースにして、チューブの性能を決定するために使用することが出来る。 ティングを意図するものではない。
本方法で定義するチューブは、フッ素樹脂製でかつ、円形断面を呈するものであること。
本方法で定義するチューブは、内部流体に接する部分が全てフッ素樹脂製であること。
ナット、グリッパ等の部品は、フッ素樹脂製である必要はない。
評価対象となるチューブ及びチューブの間シール部分のみを本方法の範囲内とする。 。
時々のチューブ規定及び又は製造者間で比較評価をするために本方法を採用時、ユーザーは評価しようとするチューブとチューブを考慮する際に、検討した仕様を明確にしております。
この方法において標準計量単位は，国際単位系（SI）を使用するものとします。
米国慣用単位を参考値として（ ）内に丸めて近似値として示す。
参照されるSEMI規格なし。
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