SEMI F9 - 側面荷重条件下におけるフルオロカーボン材料製のチューブ継手接続部の漏れ特性を決定する試験方法 -

Abstract

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この方法は、側面荷重を受けたときのフルオロカーボン材料で作られたチューブ継手接続部の漏れ特性を決定するための均一な手順を提供します。

この方法は、ここで説明する条件下で開発されたテストデータに基づいてチューブ継手接続の特性を評価するために使用できますが、結果は性能評価を示唆するものではありません。

この方法で定義されるチューブは、円形の断面を有し、フルオロカーボン材料で作られています。

この方法で試験されるチューブ継手の内部流体と接触する部分はすべてフルオロカーボン材料でできています。

・ナットやグリッパー等の部品の材質はフッ素樹脂に限定されません。

評価対象のチューブとチューブ継手の間のシールのみがこの文書の範囲内です。他のすべてのねじ付きシールについては、この文書の範囲外です。

この方法を使用してさまざまなチューブ継手やメーカーを比較する場合、ユーザーは評価するチューブおよびチューブ継手を具体的に選択する必要があります。

この文書では、国際単位系 (SI) が標準の測定単位として使用されます。米国の慣用単位は参照目的のみを目的として括弧内に示されており、最も近い整数値に四捨五入されている場合があります。

なし。

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