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SEMI F7 - フロロカーボン製チューブ接合部の引張り強さを測定する試験方法 -
Volume(s):
Facilities
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本試験方法は、Facility Committeeで技術的に承認されたもので、North American Facilities Committeeが直接責任を負うものである。 現版は1998年10月North American Regional Standards Committeeにて承認された。 2月にまずSEMI On Lineで入手可能となり、1999年2月発行に至る。初版は1992年発行。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
この方法は、フロロカーボン材質でできたチューブ要件接合部の引張り強さを測定する一定の手順を規定するものである。
この方法は，ここに優先されている条件のもとに作成されたテストデータに基づいて，チューブのための接合部の特性を当然に使用することができる。
この方法において定義されるチューブは、管状の形状をしており、フロロカーボン材質でできている。
この方法において定義されるチューブのうち内部の液体と接触する全ての部分は，フロロカーボン材質でできている。
ナット，グリッパー等のような部品は，フロロカーボン材質で作成されなくても大丈夫。
チューブと評価されているチューブの間のシールのみ，本書の適用範囲内である。
時々のチューブ規定間又は製造者間における比較のためにこの方法を使用する場合には，ユーザは評価されるべきチューブ及びチューブを明確に選択しなければない。
このドキュメントにおける計量の標準単位としては，国際単位系（SI ）が使用される。
参照されるSEMI規格なし。
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