Japan Store
SEMI F6 - 有害ガス配管システムの二次封じ込めガイド -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この文書の目的は、危険生成物質 (HPM) ガス用の二次封じ込め分配配管の設計、製造、操作に関するガイドを提供することです。
このガイドは、統一建築基準の H-6 分類、統一消防基準の第 51 条または第 80 条、またはその他の該当する地方条例に含まれる産業における危険な生産材料の分配配管の一般要件をカバーしています。このガイドには、個々の排気エンクロージャ (バルブ ボックスやガス キャビネットなど) の要件は含まれていません。
参照されるSEMI規格SEMI F1 — 有毒ガス配管システムのリーク完全性に関する仕様
SEMI F2 — 半導体製造用途向けシームレスオーステナイト系ステンレス鋼チューブの仕様
SEMI F3 — 半導体製造用途向けのステンレス鋼チューブの溶接ガイド
SEMI S2 — 半導体製造装置の安全ガイドライン
SEMI S4 — キャビネット内のガスシリンダーの隔離/分離に関する安全ガイドライン
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件