SEMI F5 - ガス状廃液処理ガイド -

Abstract

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

注意: この文書は、投票された時点では、SEMI F5-90 を完全に置き換えることを目的としています。

注意: 「注意」というタイトルの段落は、このガイドの公式の部分ではなく、公式ガイドを変更したり置き換えたりすることを目的としたものではありません。これらは、ガイドの利用を促進するためにタスク フォースによって提供されています。

このガイドの目的は、半導体業界に排気システムの原理を理解するための一般知識と背景情報を提供することです。

これには、排出を削減するための適切な方法や機器の適用だけでなく、レイアウトや選択に関する提案も含まれています。

このガイドは、半導体製造施設から放出される可能性のあるガス状および粒子状の汚染物質の両方に対する軽減策の選択に使用することを目的としています。

適用性— このガイドでは、次のような入手可能な情報のレビューと評価を示します。

• 半導体製造作業から放出される、または放出される可能性のある化合物および元素の化学的および物理的特性
• 現在の業界では、異なるグループの材料に対して排気システムを分離するための慣行がいくつかあります。
• 「エンド・オブ・パイプ」での半導体製造作業から排出されるガス状および粒子状の汚染物質の排出を軽減するための潜在的な方法
• 半導体製造プロセスの「使用時点」で排出されるガス状および粒子状の汚染物質の排出を軽減する可能性のある方法と、それらを一部のプロセスで使用する必要がある理由
• 材料の放出を最小限に抑えるための、回収、交換、および「使用量削減」の標準的な業界方法。

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S5 — 流量制限装置の安全ガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学エンジニアリングのための装置の安全ガイドライン

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.