SEMI F4 - 空気圧動作シリンダーバルブの仕様 -

Abstract

本仕様は、Global Facilities Committeeで技術的に承認されたもので、North American Facilities Committeeが直接責任を負うものである。現版は2000 年8月28日にNorth American Regional Standards Committee にて承認された。 2000年9月にまずSEMI On Line で入手可能となり、2000年10月発行に至る。初版は1990年発行、前版は2000 年2 月発行。

本仕様は、半導体の製造に使用される空気圧動作シリンダバルブに対する最低限の設計及び性能の要求条件を確立する。 。

本仕様は，半導体製造設備及びこれに対応する研究及び開発エリアで使用される，ガスを含む空気圧動作シリンダバルブに適用される。

この仕様の使用者は、その責任において、適切な安全及び健康上の作業方法を確立し、また使用前に規制上の制限への適用性を判断するものである。

SEMI F1 — 高純度ガス配管システムおよびコンポーネントのリーク完全性に関する仕様

SEMI F19 — 電解研磨された 316L ステンレス鋼部品の接液面の仕上げに関する仕様

SEMI F20 — 高純度半導体製造用途で使用されるコンポーネント用の 316L ステンレス鋼棒、押出形材、プレートおよびインベストメント鋳造の仕様

セミF32 — 高純度遮断弁の流量係数を決定するための試験方法

SEMI S5 — 流量制限装置の安全ガイドライン

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