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SEMI F3 - 半導体製造用途向けステンレス鋼チューブの溶接ガイド -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意:この文書は投票され、承認されました。 2003年に撤退。
このガイドの目的は、 ステンレスの溶接に利用可能な手順に対するユーザーの認識 スチールガス供給システム、およびそこからの情報を提供します。 その後の評価と標準化を導き出すことができます。
このガイドでは、溶接の一般的な要件について説明します。 ステンレス鋼のガス供給システム。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI F2 — 316L ステンレス鋼チューブの仕様 汎用半導体製造アプリケーション
改訂履歴
SEMI F3-94 (廃止 1103)
SEMI F3-94 (技術改訂)
SEMI F3-94 (初公開)
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