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SEMI F2 - 汎用半導体製造用途向けの 316L ステンレス鋼チューブの仕様 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意:この文書は投票され、承認されました。 2003年に撤退。
この仕様の目的は、 適用可能な ASTM チューブ仕様要件と特別なチューブ仕様を定義します。 316L ステンレス鋼チューブの材料化学組成要件 半導体の汎用用途に使用される 製造施設。
この仕様は、公称肉厚のグレードを対象としています。 ASTM A269 の表 1 に指定されているステンレス鋼チューブ。 半導体製造における化学（気体または液体）供給システム 施設および同等の研究開発分野にあります。
参照SEMI規格（別途購入）
なし。
改訂履歴
SEMI F2-94 (廃止 0703) (SEMI F20-0704 と統合)
SEMI F2-94 (技術改訂版)
SEMI F2-94 (初公開)
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