SEMI F1 - 高純度ガス配管系および部品の漏れ完全性仕様 -

Abstract

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この仕様は半導体製造に使用される高純度ガス配管系および漏れ試験の要求条件と漏れ率を定義する。また、装置、材料、サービスの調達および設置のために行うことも目的としている。

この仕様は半導体製造設備と、これに匹敵する研究開発エリアで使用される、高純度ガス配管系および部品に適用される。

この仕様は，完全なシステム，サブシステム，および個々の部品に対する試験方法が含まれる。

この仕様はユーザと製造者の双方に対する要求条件を記載し、また試験および検定試験のための漏れ率を確立する。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI S2 — 環境、健康、安全に関するガイドライン 半導体製造装置

改訂履歴

SEMI F1-0812 (技術改訂)

SEMI F1-96 (技術改訂)

SEMI F1-90 (初公開)

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