SEMI E187 - 製造装置のサイバーセキュリティ仕様 -

Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥62,700

Volume(s): Equipment Automation Software
Language: English



Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI E187-0122 - 現在

リビジョン

Abstract



この規格は、包括的かつ基本的な事項を定義します。 半導体製造装置を保護するためのベースラインとしてのサイバーセキュリティ要件 設計により、運用および保守時のセキュリティ保護をサポートします。

この基準は、以下を提供する主体によって適用されることを意図しています。 装置や装置などの半導体製造工場へのサービス サプライヤーとシステムインテグレーター。

この規格はサイバーセキュリティに必要な対策を取り上げています 半導体製造装置の設計・運転・保守 自動マテリアルハンドリングシステム。

この規格は、以下の基本的な要件を規定します。 次の側面:

  • オペレーティング システム (OS) のサポート、
  • ネットワークセキュリティー、
  • エンドポイント保護、および
  • セキュリティ監視。

この規格は工場のコンピューティングデバイスに適用されます Microsoft Windows® または Linux® がインストールされている機器 システム。

この規格は、プログラマブルなコンピューティング デバイスには適用されません。 ロジック コントローラー (PLC)、監視制御およびデータ収集 (SCADA)、および センサーアクチュエーターネットワークを介して接続されたデバイス。

参照SEMI規格(別途購入)

SEMI E169 — 機器情報システムのセキュリティに関するガイド

改訂履歴

SEMI E187-0122 (初公開)

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