
SEMI E187 - 製造装置のサイバーセキュリティ仕様 -
Abstract
この規格は、包括的かつ基本的な事項を定義します。 半導体製造装置を保護するためのベースラインとしてのサイバーセキュリティ要件 設計により、運用および保守時のセキュリティ保護をサポートします。
この基準は、以下を提供する主体によって適用されることを意図しています。 装置や装置などの半導体製造工場へのサービス サプライヤーとシステムインテグレーター。
この規格はサイバーセキュリティに必要な対策を取り上げています 半導体製造装置の設計・運転・保守 自動マテリアルハンドリングシステム。
この規格は、以下の基本的な要件を規定します。 次の側面:
- オペレーティング システム (OS) のサポート、
- ネットワークセキュリティー、
- エンドポイント保護、および
- セキュリティ監視。
この規格は工場のコンピューティングデバイスに適用されます Microsoft Windows® または Linux® がインストールされている機器 システム。
この規格は、プログラマブルなコンピューティング デバイスには適用されません。 ロジック コントローラー (PLC)、監視制御およびデータ収集 (SCADA)、および センサーアクチュエーターネットワークを介して接続されたデバイス。
参照SEMI規格(別途購入)
SEMI E169 — 機器情報システムのセキュリティに関するガイド
改訂履歴
SEMI E187-0122 (初公開)
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