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SEMI E186 - マスフローコントローラーおよびマスフローメーターの電源コネクタおよびEthercatポートの位置と寸法の仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、場所と物理的な場所を確立します。 マスフローコントローラー (MFC) とマスフローメーター (MFM) の寸法 EtherCAT®通信プロトコル。
この規格では、次の場所と物理的寸法について説明します。 MFC/MFM で使用される EtherCAT 電源および通信コネクタ。
この規格はマスフローコントローラーとマスフローコントローラーに適用されます。 従来型と表面実装型の両方のガス供給システムで使用される流量計。
参照SEMI規格（別途購入）
なし。
改訂履歴
SEMI E186-1121 (初公開)
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