Japan Store
SEMI E185 - 300 mm テープ フレーム FOUP の仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様の目的は、IC 製造施設内で SEMI G74 および SEMI G87 で指定されている 300 mm テープ フレームの輸送および保管に使用することを目的としたテープ フレーム FOUP の基本的な物理寸法を確立することです。
この規格は、テープ フレーム FOUP の外部特徴と寸法を指定します。この規格は、テープ フレーム FOUP にテープ フレームを保管するための内寸を指定します。この規格は、エンドエフェクターによるテープ フレームの自動取り付けと取り出しを確実に行うためのエリアを指定します。この規格は、テープ フレーム FOUP と対話するように設計された自動化ツールのインターフェイスの外形寸法を指定します。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせとサポートに使用されるキネマティックカップリングの仕様
SEMI G74 — 300mm ウェーハ用テープフレームの仕様
SEMI G87 — 300mm ウェーハ用プラスチックテープフレームの仕様
改訂履歴
SEMI E185-1222 (技術改訂)
SEMI E185-1221 (初公開)
 |
Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards. |
Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.
0件