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SEMI E178 - EDA フリーズ バージョンのガイド -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
これ Standard は、SEMI EDA Standards のバージョンを組み合わせるためのガイドを提供します EDA導入を成功させるために。
これ 半導体製造装置に適用される規格です。 Web サービスを適用する EDA 標準で定義された仕様 メッセージ交換。
参照されるSEMI規格
セミ E120 — 共通機器モデル (CEM) の仕様
セミ E120.1 — Common Equipment Model (CEM) の XML スキーマ
セミ E125 — 機器自己記述の仕様 (EqSD)
セミ E125.1 — 機器自己記述 (EqSD) の SOAP バインディングの仕様
セミ E128 — XML メッセージ構造の仕様
セミ E132 — 機器クライアントの認証および認可の仕様
セミ E132.1 — 機器クライアント認証および 認可(ECA)
セミ E134 — データ収集管理の仕様
セミ E134.1 — データ収集管理 (DCM) の SOAP バインディングの仕様
セミ E138 — XML Semiconductor の共通コンポーネント
セミ E145 — XML における測定単位記号の分類
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