SEMI E177 - 電子顕微鏡ワークフローで使用される透過型電子顕微鏡 (TEM) ラメラキャリアの仕様 -

Abstract

伝染 ; 感染 電子顕微鏡 (TEM) は、半導体産業で広く使用されています。 工程管理、不良解析、技術開発支援など 調査対象の機能の寸法と詳細は、基準をはるかに下回っています。 光学顕微鏡の解像度、および多くの場合走査型電子顕微鏡の解像度 (SEM)。

に 小型 TEM を使用してウェーハまたはデバイスの興味深い部分を検査できるようにします。 そして、ラメラと呼ばれる薄いサンプルがウェーハの大部分から調製されます。

これらは 非常に薄くて壊れやすいラメラは、機械的/物理的にサポートする必要があります。 それらを透過型電子顕微鏡に輸送し、操作するために さらなる調査のためにそれらを顕微鏡で観察します。

これ 物理的サポートはラメラキャリア (LC) によって提供されます。

標準化 ラメラから完全に自動化されたワークフローを有効にするには、LC の数が必要です TEM での調査の準備とユーザーの柔軟性の確保 ワークフローで使用されるツールと取り扱いデバイスの選択において。

これ 仕様には、LC のフォームファクターと幾何学的寸法が含まれています。

それ 利用に関連する物理的および化学的特徴も指定します。 LC の取り扱い、輸送、保管、識別。

これ この仕様は、大量生産における TEM ワークフローに使用される LC に適用されます。 (HVM) だけでなく実験室環境でも使用できます。

これ 仕様では、いわゆるグリッド LC と 2 つの異なる種類の LC が定義されています。 半月型LC。

参照されるSEMI規格

なし

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