SEMI E169 - 装置情報システムセキュリテイのためのガイド -

Abstract

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SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、Information & Control Global Technical Committee で技術的に承認されています。現版は 2015 年 2 月 10 日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認されました。 semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。前版は2014年4月に公開された。

コンピュータウイルスによる情報の破壊や情報漏洩による機密性の侵入、サービス拒否による情報可用性の制限のインシデントが続く場所で頻繁に報告されている。 ，これらの主観にさらされている。

したがって、セキュリティ対策は半導体製造装置の不可避な要件となっている。

半導体装置製造のセキュリティに関しては以下のような要求があります。

• マルウェア（ウィルス）防御，今後装置の性能を無視しないこと。
• レシピの機密性を保護し、今後装置の運転効率を低下させないこと。
• トラブルシューティングのために装置の操作ログファイルを利用できるようにすること、ただしその機密情報が漏洩しないようにすること。
• ユーザーが装置の設計情報を利用できるようにすること、ただしその機密情報が漏洩しないようにすること。

セキュリティ対策は、個々の装置ユーザの半導体製造ラインの管理計画に合わせてカスタマイズされる。さらに、そこで取り決められたことが確実に機能し、持続性を持つかどうかは不透明である。

この基準の目的は、装置情報システムのセキュリティのための共通の基盤を確立することである。そうします。

この基準は以下を期待される：

• コスト，納期，および信頼性を最適化するために，適切なセキュリティ対策装置に適用するガイドラインを提供する。
• 装置の役割や責任についての知識を提供することによって、ユーザーのセキュリティシステムの設計をより簡単に、より堅牢にする。
• 業界内のニーズと、セキュリティの評価方法を表現し、その一貫して理解したための共通言語を提供する。
• ポータブルで、相互運用可能な実装を提供するオープン標準開発を推進する。

領域

この基準は，半導体製造装置運用に関する領域をカバーする。

その領域は；

• 装置と対話するエンティティ（人、プロセス、システム）
• 装置運用に関するデータ・オブジェクト
• 装置内に通報された情報システム部品

装置のドメインへの外部エンティティ（例えば工場や会社）は、装置の情報セキュリティに関連している場合にのみ認められる。

テーマ

この基準は、装置の運用に関連した情報セキュリティのためのガイドラインの作成に以下の項目に抜粋する。

• 情報セキュリティの目標（機密性、完全性、可用性）
• 保護されるべき資産（装置情報資産）
• 装置情報システムによってサポートされるべき役割
• 重要なセキュリティ要件（例、マルウェア対策、ネットワーク上の不正アクセス防止、ローカル操作、ハードウェア、コンポーネントの許可等）

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS)
SEMI E40 — 処理管理の標準
SEMI E87 — キャリア管理の仕様
SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様
SEMI E94 — コントロールジョブ管理の仕様
SEMI E116 — 機器性能追跡の仕様
SEMI E120 — 共通機器モデル (CEM) の仕様
SEMI E125 — 機器自己記述 (EQSD) の仕様
SEMI E132 — 機器クライアントの認証および認可の仕様
SEMI E134 — データ収集管理の仕様
SEMI E139 — レシピおよびパラメータ管理 (RaP) の仕様
SEMI E147 — 機器データ収集 (EDA) のガイド
SEMI E148 — 時刻同期の仕様と TS-Clock オブジェクトの定義
SEMI E157 — モジュールプロセス追跡の仕様

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