SEMI E166 - 450 mmクラスタモジュール・インタフェースのための仕様：機械的インタフェースおよび伝達の標準 -

Abstract

免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee で技術的に承認されています。現版は2014年6月17日、 global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認されました。 semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となった。初版は、 2013年5月発行。

本スタンダードの目的は、450mmのクラスタツールからなる搬送モジュールとプロセスモジュールの間の必要最小レベルの物理接続性を保証することである。は早速の設計変更で任意のクラスタツールの伝達モジュールに接続できるようになることが期待される。

このことが，クラスタツールにおいて伝達モジュールが各種モジュール間ウェーハを動かす能力に，大きな負担をかけている。本仕様は，モジュール内これにより、前述のウェーハ搬送問題を大幅に軽減することができるが、それではモジュールの内容を過度に制限しない。

本標準は，クラスタツールのモジュール間のインタフェース面について，定義する。要求を強制するものではない。

本標準は、直径450 mmのウェーハおよびクラスターツールモジュール間のインターフェースにのみ適用される。となる。

SEMI E21 — クラスターツールモジュールインターフェース: 機械的インターフェースおよびウェーハ搬送規格
SEMI E21.1 — クラスターツールモジュールインターフェイス 300 mm: 機械インターフェイスおよびウェーハ搬送標準
SEMI E154 — 450 mm ロードポートのメカニカルインターフェース仕様

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