SEMI E136 - 半導体処理装置の高周波（RF）電力供給システムで使用されるRF電源の出力を決定するためのテスト方法 -

Abstract

注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本基準は、Metrics Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年12月24日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年5月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる。初版は2004年11月発行。

注意:この文書は、編集上の修正を行い、再承認されました。

本テスト方法の目的は、半導体処理装置の高周波(RF)電力供給システムで使用されるRF電源の出力を測定する正確な方法を提供し、SEMI E113をサポートすることである。

このテスト方法では、RF電源から出力される真の出力（つまり加熱電力）を決定するために必要なテスト手順および装置を指定する。して先に補正された熱量電力計を使用する。

本テスト方法の主な対象は，次のタイプの半導体処理装置であるが，それらには限定されない。

・乾式エッチング装置，および

・薄膜堆積装置（CVDとPVD）

SEMI E113 — 半導体処理装置のRF電力供給システムの仕様
セミE114 — 半導体処理装置の RF 電力供給システムで使用される RF ケーブル アセンブリのテスト方法

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.