SEMI E133 - 自動プロセス制御システムインタフェースの仕様 -

R2R制御（ R2R ：実処理間制御）、フォルトディテクション（ FD ：障害検出）、フォルトクラシフィケーション（ FC ：障害分類）、フォルトプレディクション（ FP ：障害予測）、統計プロセス管理手法（ SPC ）等のプロセス制御システム（ PCS ）の統合実装を現状、今後の工場側で効果的に設置するには、プロセス制御システムのインタフェースを規定することが必要である。 間で、 (2)依存関係のある上記以外の工場内のシステム（装置データ収集系を含む）が効果的に相互動作し、データを共有することを可能にするためである。開発する製品を応用する予定のある装置サプライヤ、半導体製品製造将来会社、装置を構成するシステムの供給ヤ、制御システム供給ヤが使うことを意図するものである。

本基準はPCS性能，機能化グループ，機能化グループのインターフェースを定義することに主眼を置くものである。本書の構成要素には次のものを含む：

• 本書のドメインに適切な重要な用語と概念の定義，
• 本規定の規定法の説明，
• PCS適用範囲内での主要な機能化グループの特定、
• 個人の機能化グループに求められる性能の説明（必須及び任意），
• 上記の機能化グループの定義，次のものを含む:
• これにはインターフェースデータの説明も含まれます（入出力共）。 グループすべてに共通な構造，および個別に特化した構造も同様にモデル化する。
• サポートするサービスおよびインターフェースの想定される挙動，
• 準拠程度を確認するテスト方法の説明。

特定のフォーマットやプロトコルの実装は，その適用する技術に依存して，本規定のサブドキュメントの「ドット」規定に定められる。 のスキーマも含まれる）。

これは実装対象を決定し、現実の実装が可能な限り早期に取り続けるためである。

SEMI E81 — CIM フレームワーク ドメイン アーキテクチャの暫定仕様
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