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SEMI E114 - 半導体処理装置の RF 電力供給システムで使用される RF ケーブル アセンブリのテスト方法 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的な計量委員会によって技術的に承認されました。この版は、2009 年 1 月 2 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2009 年 2 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 2002 年 6 月に発行されました。
E この文書は 2002 年 5 月に編集上修正されました。¶ 1.1 に変更が加えられました。
この文書の目的は、半導体処理装置の RF 電力供給システムで使用される RF ケーブル アセンブリの電気長、電力損失、および特性インピーダンスの変化を測定するために使用されるテスト方法を定義することです。
参照されるSEMI規格SEMI E113 — 半導体処理装置のRF電力供給システムの仕様
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