SEMI E112 - 複数の 6 インチ レチクルの輸送および保管に使用される 150 mm マルチ レチクル SMIF ポッド (MRSP150) の仕様 -

Abstract

この規格は、Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 5 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 10 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2001 年 11 月。以前は 2017 年 1 月に発行されました。

この規格は、集積回路 (IC) 製造施設内で 6 つの 6 インチ レチクルを輸送および保管するために使用される 150 mm マルチ レチクル SMIF ポッド (MRSP150) を指定します。

この規格は、すべての機械的インターフェースにおけるモジュール性と互換性を確保しながら、イノベーションに最小限の制限を設ける適切なレベルの仕様を設定することを目的としています。この仕様に記載されている要件のほとんどは、必要な表面がほとんどない最大または最小の寸法の形式になっています。 MRSP150 の物理インターフェイスのみが指定されています。この仕様には、材料要件や微小汚染の制限は記載されていません。

この仕様のペリクル排除体積は、レチクルの全長とペリクルの最大幅 124 mm までのペリクルを収容します。

MRSP150 には、次のコンポーネント、サブコンポーネント、およびその他の機能があります。 「●」記号は必須のコンポーネントまたは機能を示し、「◊」記号はオプションのコンポーネントまたは機能を示します。

• 上

• ロボットハンドリングフランジ

• インテリア

• 6 つの 6 インチ レチクルをサポート
• レチクルキャプチャ
• レチクル接触面
• エンドエフェクター除外ボリューム
• 2 つの安全レール除外ボリューム
• ペリクル排除ボリューム
• 横方向の拘束
• レチクルバックストップ

• 側面

• 両側の基準面に平行な側面に 2 つのサイド ハンドリング フランジ

• 2面取り扱い除外ボリューム
• RFID配置ゾーン

• 下

• SEMI E19.3で定義されているSMIFと互換性のあるドア
• ポッドのラッチピンの穴
• 両側の基準面と平行な側面に 2 つのコンベア レール

SEMI E19.3 — 標準メカニカルインターフェイス (SMIF) 用の 150 mm (6 インチ) ポートの仕様
SEMI E30.1 — 特定機器モデルの検査およびレビューの仕様 (ISEM)
SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの機械仕様
SEMI E111 — 6 インチ レチクルの輸送および保管に使用される 150mm レチクル SMIF ポッド (RSP150) の仕様
SEMI P5 — ペリクルの仕様

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