SEMI E109 - レチクルおよびポッド管理 (RPMS) の仕様 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 5 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2017 年 10 月に www.semi.org で入手可能です。初版は 2001 年 7 月に出版されました。以前は 2010 年 11 月に出版されました。

この文書は、リソグラフィー、レチクル検査、およびベア レチクル ストッカー装置の標準化された動作を提供します。また、リソグラフィー、レチクル検査、ベア レチクル ストッカー装置との標準化された通信も提供します。これには、装置との間の自動および手動のレチクル ポッドの移動の調整、実行、完了、レチクル ポッドとの間のレチクルの移動、装置内でのレチクルの移動、レチクル ポッドとレチクルの両方の識別と検証が含まれます。レチクルの検査と認定、およびレチクルの使用状況の追跡などのその他の関連情報。

これは、レチクルを処理する機器のホストと機器の通信を対象とした規格です。これには、レチクル ポッドの内側と外側の両方でレチクルを処理する機器のみが含まれます。

この文書の範囲は、自動および手動のレチクル ポッド転送、レチクル ポッドへのレチクル転送およびレチクル ポッドからのレチクル転送、内部レチクル移動、ReticleID の識別と検証、レチクルの検査と認定、およびレティクルの使用状況を追跡します。具体的には、この文書では、次の目的でホストと機器の相互作用を定義する状態モデルとシナリオを提供します。

●AMHS車両と生産設備、ベアレチクルストッカー、レチクル検査装置のレチクルロードポート間のレチクルポッド搬送。

●リソグラフィー製造装置の内部レチクルライブラリスペースとの間でレチクルを搬送します。

•装置およびレチクルのロードポートアクセスモードの切り替え。

•レチクルポッドとロードポートの関連付け。

•レチクル ポッド ID 検証とレチクル ポッド スロット マップ検証。

下位標準:

SEMI E109.1-1110 -レチクルおよびポッド管理 (RPMS) 用の SECS-II プロトコルの仕様

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM) の仕様
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI E99 — キャリアIDリーダー/ライターの仕様
SEMI E100 — 6 インチまたは 230 mm レチクルの輸送および保管に使用されるレチクル Smif Pod (RSP) の仕様

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.