SEMI E108 - ガスクロマトグラフィー/質量分析法を使用した微小環境からのガス放出有機汚染の評価のための試験方法 -

Abstract

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この規格の目的は、ガスクロマトグラフィー/質量分析法 (GC/MS) を使用して、ウェーハの保管および輸送に使用されるミニ環境からのガス放出有機汚染を測定するための試験方法を定義することです。

このテスト方法は、SEMI E46 の代替として意図されています。 SEMI E46 とこの文書の主な違いは、SEMI E46 が測定技術としてイオン移動度分光法 (IMS) に基づく試験方法を定義しているのに対し、この規格は加熱脱離と組み合わせた GC/MS に基づいていることです。さらに、この試験方法は、完全なミニ環境で有機化合物のガス放出を試験する手順を提供します。 SEMI E46 の結果とこの文書は異なる単位で示されています。

この文書で提供される試験方法は、ミニ環境からの有機汚染のガス放出の評価に適用できます。

GC/MS は有機化合物の特性評価と定量化に一般的に使用されるため、有機汚染を測定する方法として選択されます。熱脱着と組み合わせて、大気中 (つまりミニ環境内) の有機化合物だけでなく、原材料から直接有機化合物や移動した汚染物質を識別する方法を提供します。この方法は、半導体産業で使用される材料やプロセスの評価にも使用できます。

この試験方法は ASTM F1982 に基づいています。

SEMI E46 — 微小環境からの有機汚染を測定するための試験方法

SEMI F21 — クリーン環境における空気中の分子汚染物質レベルの分類

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