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SEMI E95 - 半導体製造装置用ヒューマンインターフェース仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的な情報管理委員会によって技術的に承認されました。この版は、2006 年 11 月 21 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2007 年 2 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版発行は 2000 年 2 月で、初版は 2000 年 2 月に発行されました。以前は 2001 年 11 月に出版されました。
この標準は、共通のソフトウェア標準を開発することを直接の目的として、処理内容の領域に取り組んでおり、オペレータのトレーニング、操作仕様、および効率的な開発に関する問題をより簡単に解決できるようにしています。
参照されるSEMI規格なし。
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