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SEMI E95 - 半導体製造装置のヒューマンインターフェースに関する仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本仕様は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2006年11月21日、グローバル監査審査小委員会にて発行が承認された。 orgで、そして2007年3月にCD-ROMで入手可能となる。 初版は2000年2月発行、前版は2001年11月に発行された。
本標準は、作業者の教育訓練、作業仕様、効率的な開発などを含む問題の解決を容易にするための共通標準ソフトウェア開発を目指したものである。
本スタンダードはブラウザあるいは有料・システムの特定機能への参照あるいは依存を避け、ツール・ニュートラル（特定機器非依存）方式で作成されています。 同様に、ソフトウェア・ツールの選択や詳細な実装方法についても，特に指定されていません。
また本標準の図表はすべて概略図であり、正確な縮尺率に基づくものではない。 特に別記されていない限り、ボタンの数やサイズ、パネルのサイズなどの実装の詳細を決定することは意図されているていない。
このスタンダードは半導体の生産に使われる製造装置に適用される。
この標準はフラットパネルディスプレイの製造分野等に適用できるが，これらの分野への具体的な適用は本ドキュメント作成時の適用範囲からにも評価されている。
参照されるSEMI規格なし。
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