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SEMI E94 - 制御ジョブ管理の仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様書は、高度なファクトリーオートメーションをサポートする工場にサービスを提供する機器について説明します。これらのサービスは、ホストが生産装置上の材料の処理と配置を調整する機能を提供します。
この仕様は、SEMI E30 (GEM) に準拠する機器に適用される場合があります。
下位標準:
SEMI E94.1-0819 - 制御ジョブ管理 (CJM) のための SECS-II プロトコルの仕様
参照されるSEMI規格
SEMI E30 — 仕様 製造装置の通信および制御の汎用モデル用 （宝石）
SEMI E39 — 仕様 オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E40 — 仕様 加工管理用
SEMI E87 — キャリア管理 (CMS) の仕様
SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様
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