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SEMI E94 - 컨트롤 잡 관리 사양 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Korean
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2013 年 12 月 23 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2014 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2000 年 2 月。以前は 2013 年 7 月に出版されました。
この仕様書は、高度なファクトリーオートメーションをサポートする工場にサービスを提供する機器について説明します。これらのサービスは、ホストが生産装置上の材料の処理と配置を調整する機能を提供します。
この仕様は、SEMI E30 (GEM) に準拠する機器に適用される場合があります。
参照されるSEMI規格SEMI E5—SEMI 機器通信規格 2 メッセージ コンテンツ (SECS-II)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E30 - 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E39.1—オブジェクト サービス標準 (OSS) の SECS-II プロトコル
SEMI E40—処理管理の標準
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