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SEMI E94 - コントロールジョブ管理（CJM）の仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本標準は、Information & Control Global Technical Committee で技術的に承認されています。現版は 2013 年 6 月 4 日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認されました。 semiviews.org およびwww.semi.org で入手可能となる。初版は2000年2 月発行。前版は2012 年3 月発行。
この仕様は高度に自動化された工場においてサービスを提供する装置についてである。このサービスは製造装置における材料プロセスおよび処理を制御する能力をホストに提供する。
この仕様はSEMI E30 （ GEM ）に適合する装置に適用できます。
下位文書:
SEMI E94.1-0312 - 制御ジョブ管理 (CJM) のための SECS-II プロトコルの仕様
参照されるSEMI規格
SEMI E5—SEMI 機器通信規格 2 メッセージ コンテンツ (SECS-II)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E30 - 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E39.1—オブジェクト サービス標準 (OSS) の SECS-II プロトコル
SEMI E40—処理管理の標準
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