SEMI E92 - ツール相互運用性規格（ボルト/ライト）に準拠した 300 mm の軽量およびコンパクトなボックス オープナー/ローダーの仕様 -

Abstract

この規格は、Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee によって技術的に承認されました。この版は、2015 年 2 月 10 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2015 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1999 年に出版されました。以前は 2009 年 7 月に出版されました。

ボックス オープナー/ローダーの相互運用性の標準を提供する — この標準は、ボックスを開けて、300 mm ウェーハのアンロードおよびロードを行う装置のウェーハ ハンドラー (ボルト/ライト ユニット) とボックスを開くコンポーネント間のインターフェイスなどの標準仕様を提供することを目的としています。機器の上位部分とその提供する機能 (図 1 を参照):

• 高いレベルの互換性/相互運用性、
• 素早い着脱が可能で機械的再現性が高く、
• 軽量かつ
• コンパクトさ。

高レベルの互換性と相互運用性を提供するために、この規格ではインターフェイスだけでなく、相互運用性に影響を与えるボックス オープナー/ローダーの機能の一部も規定しています。

この規格の使用法 — この規格で定義された相互運用性仕様は、BOLTS/Light 準拠のボックスオープナー/ローダーと以下の間のイ​​ンターフェイスおよび機能として使用されることを目的としています。

• BOLTS-M 準拠のロードポート ユニット (SEMI E63 に準拠)。
• 1 つのシャーシに 4 つのボックス オープナー/ローダーなどの統合ロードポート。
• オープナー・ローダー下のスペースを利用した高密度梱包装置。

SEMI 規格の互換性 — この規格は、SEMI E15.1、SEMI E47.1、SEMI E1.9、SEMI E62、SEMI E63、SEMI E64 を含む 300 mm SEMI 規格と互換性があります。

オープンカセットアプリケーション — BOLTS/ライトユニットは、SEMI E47.1 および SEMI E62 に準拠するボックスを処理するように構成できます。

ボックスオープナー機能を持たないが、オープンカセット (SEMI E1.9 に準拠) の配置を容易にする同様のユニットを互換的に設計することもできます。

キャリア容量 - この規格は、13 または 25 個のキャリア容量ボックス オープナー/ローダー用の 1 つのインターフェイスを定義します。

この規格で規定されているインターフェースは、密閉されたミニ環境を備えた機器向けに設計されていますが、これに限定されるものではありません。

指定された項目 — この標準は、以下を含むモジュール性、互換性、および相互運用性を確保しながら、イノベーションに最小限の制限を設ける適切なレベルの仕様を設定することを目的としています。

• 相互運用性に影響を与えるボックス オープナー/ローダー機能。
• ボックスオープナー/ローダーと機器間の機械的インターフェース機能。

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの暫定機械仕様
SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様
SEMI E62 — 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様
SEMI E63 — 300 mm ボックス オープナー/ローダーとツール標準 (BOLTS-M) インターフェイスの暫定機械仕様
SEMI E64 — SEMI E15.1 ドッキング インターフェイス ポートへの 300 mm カートの仕様

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