SEMI E91 - プローバー固有機器モデル (PSEM) の仕様 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 5 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 12 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1999 年 9 月に出版されました。以前は 2009 年 11 月に出版されました。

この文書は、プローバー装置 (PSEM) の特定装置モデルを確立します。 PSEM は、このクラスの機器に適用される機器の特性と動作で構成されており、SEMI E30 (GEM) で指定されている基本要件と追加機能に加えて実装する必要があります。この文書の目的は、自動化された半導体工場へのプローバ装置の統合を容易にすることです。この文書は、ファクトリ オートメーション コントローラから見たプローバ装置の動作モデルを定義することによってこれを実現します。この定義は、標準のホスト インターフェイスと機器の動作動作を提供します。

この文書の範囲は、GEM に準拠する半導体装置通信規格 (SECS-II) (SEMI E5) ホストによって認識されるプローバー装置の動作の定義に限定されます。この文書は、SECS 通信リンクを介した装置のビューを定義しますが、装置の内部動作は定義しません。これには、このクラスのすべての機器の動作の基礎として、特定の処理状態モデルが含まれています。

この文書は、GEM の基本要件と適用可能な追加機能がプローバー装置に実装されていることを要求します。この文書は、処理状態モデル、収集イベント、リモート コマンド、データ項目変数、およびプロセス レシピ管理の領域における GEM 標準の要件と機能を拡張し、GEM 標準の要件と機能にプローバー ジョブの状態モデルを追加します。この文書には、多段階の治療の定義は含まれていません。

この文書は、処理後にウェーハをロードしたのと同じキャリアの同じスロットからウェーハがアンロードされるクラスのプローバ装置に適用されます。

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容の仕様 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM) の仕様
SEMI M20 — ウェーハ座標系確立の実践
SEMI M21 — デカルト配列内の長方形要素にアドレスを割り当てるためのガイド

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