SEMI E91 - プローバ独自の装置モデル（PSEM）に関する仕様 -

Abstract

本基準は、グローバル情報管理委員会で技術的に承認されている。現版は2009年9 月4日、グローバル監査およびレビュー小委員会 にて発行が承認された。 orgで、そして2009年11月にCD- ROMで入手可能となりました。 初版は1999年9 月発行、前版は2000 年6 月に発行されました。

本書はプローバ装置のための独自の装置モデル（ PSEM ）を記すものである。 PSEMはこのクラスの装置に適用される装置特性および装置ビヘイビアで構成され、 SEMI E30 （ GEM ）に規定されている。 基本的な要求条件および性能に加えて実装するよう要求されている。本書の目的はプローバ装置を自動化された半導体工場に容易に統合できるようにすることである。コントローラーの視点から見たプローバモデルの動作モデルを定義している。この定義によって標準的なホストおよびデバイスの動作に関するビヘイビアが提供されている。

SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — SEMI 機器の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI M20 — ウェーハ座標系を確立するための仕様
SEMI M21 — デカルト配列内の長方形要素にアドレスを割り当てる仕様

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