SEMI E90 - 基板トラッキングの仕様 -

Abstract

知らせ： SEMI E90の指定は、0921発行サイクル中に次のように更新されました。 SEMI E90.1の再承認を反映しています。

この仕様の目的は、 基板（製造品）を追跡する装置の標準サービス 製造装置。この仕様は概念と動作を定義します 基板の情報管理やメッセージ・サービスなどに。

本来は基板の情報を管理する必要がある サービスを提供するには機器が必要ですが、工場のシステムによって 基板情報管理に。この仕様は、 基板の情報を管理するための機器サービスの要件 機器内に存在します。

この仕様の範囲は、 ユーザーが要求できる機器の情報サービス。明確にするために 必要なサービス、基板の概念と動作、基板 場所、バッチ、およびバッチの場所が定義されます。

この仕様はあらゆる製造に適用できます 基板を扱う装置。これらのサービスを実現するには、設備が必要です。 工場システムは通信リンクによって統合される必要があります。

下位標準 (付属):

SEMI E90.1-0312 (再承認 0921) - SECS-II プロトコルの基質追跡の仕様

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E30 — の汎用モデルの仕様 製造装置の通信と制御 (GEM)

SEMI E39 — オブジェクトサービスの仕様: 概念、 行動とサービス

改訂履歴

SEMI E90-0921 (指定の更新)

SEMI E90-0312 (再承認 1218)

SEMI E90-0312 (技術改訂)

SEMI E90-1111 (指定の更新)

SEMI E90-0707 (技術改訂)

SEMI E90-0706 (技術改訂)

SEMI E90-0306 (技術改訂)

SEMI E90-1105 (技術改訂)

SEMI E90-0705 (技術改訂)

SEMI E90-1104E2 (編集改訂版)

SEMI E90-1104E (編集改訂版)

SEMI E90-1104 (技術改訂)

SEMI E90-0304 (技術改訂)

SEMI E90-0703 (技術改訂)

SEMI E90-0303 (技術改訂)

SEMI E90-1102 (技術改訂)

SEMI E90-0702 (技術改訂)

SEMI E90-0302 (技術改訂)

SEMI E90-1101 (技術改訂)

SEMI E90-0701 (技術改訂)

SEMI E90-0301 (技術改訂)

SEMI E90-1000 (技術改訂)

SEMI E90-0600 (技術改訂)

SEMI E90-0200 (技術改訂)

SEMI E90-0999 (初公開)

SEMI E90.1-0312 (再承認 0921)

SEMI E90.1-0312 (技術改訂)

SEMI E90.1-1111 (技術改訂)

SEMI E90.1-0706 (技術改訂)

SEMI E90.1-0705 (技術改訂)

SEMI E90.1-1104 (技術改訂)

SEMI E90.1-0703 (技術改訂)

SEMI E90.1-0303 (技術改訂)

SEMI E90.1-1102 (技術改訂)

SEMI E90.1-0702 (技術改訂)

SEMI E90.1-0701 (技術改訂)

SEMI E90.1-0301 (初公開)

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