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SEMI E90 - 기판 추적 사양 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Korean
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
이 표준은 기술적으로 Global Information & Control Technical Committee 에 의해 승인되었으며, 이 개정판의 발행은 2011 년 12 월 24 일監査審査小委員会에 의해 승인되었다。 원본은 1999 발행되었으며、 이전 개정판은 2011 년에 11 월에 발행되었다。 www.semiviews.org を参照してください。www.semi.org は、2012 年 3 月 3 日に公開されました。
이 표준의 목적은 제조 장비에서 기판(基板/ 제조되는 제품) 을 추적하기 위해 장비의 표준 서 비스를 제공하는 것이다。 이 표준은 메시지/ 서비스 뿐만 아니라 기판(基板) 의 관리 정보에 대한 개념과 동작을 정의한다 。
기본적 으로 장비가 기판(基板) 의 정보 관리 를 위해 서비스 를 제공 하여야만 하며, 기판(基板) 에 대한 정보는 공장 시스템에 의해 관리되어야 한다。 이 표준은 장비에 존재하는 기판(基板) 의 정보를 관리하는 장비 서비스에 대한 요구사항을 명 시한다。
범위는 사용자가 요청할 수 있는 장비의 서비스 정보를 정의 하는 것이다。 요청 된 서비스 를 명확하게 하기 위해, 기판(基板) 의 개념과 동작, 기판(基板) 의 위치, 배치(バッチ) 와 배치(バッチ) 의 위치가 정의된다。
이 표준 은 기판(基板) 을 다루는 제조 장비 에서 적용 가능하며, 이러한 서비스의 실루 는 위해 장 비와 공장 시스템은 어떠한 방법을 통해서든지 통신 연결을 통해 통합되어야 한다。
下位文書:
SEMI E90.1-0312 - SECS-II プロトコルの基質追跡の仕様
参照されるSEMI規格SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E39.1 — オブジェクト サービス標準 (OSS) の SECS-II プロトコル
SEMI E53 — イベントレポート
SEMI E87 —キャリア管理 (CMS) の仕様
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