SEMI E90 - 基板トラッキングの仕様 -

Abstract

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本基準の目的は製造装置内の基板（製造された製品）のトラッキング装置が実行する標準的なサービスを記すことである。 。

本質的には基板についての情報はファクトリシステムが管理しなくても、装置は基板情報管理に関するサービスの提供を要求される。事柄を扱っている。

本標準の範囲はユーザが要求できる装置情報サービスを定義することである。 要求されているサービスを明確にするため、基板の概念および挙動、基板位置、バッチとバッチの位置が定義されている。

本基準は基板を処理するあらゆる製造装置に適用可能である。

下位標準 (付属):

SEMI E90.1-0312 - 仕様 SECS-II プロトコルの基質追跡

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E30 — の汎用モデルの仕様 製造装置の通信と制御 (GEM)

SEMI E39 — オブジェクトサービスの仕様: 概念、 行動とサービス 

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