SEMI E88 - AMHS ストレージ SEM (ストッカー SEM) の仕様 -

Abstract

この規格は、情報および制御グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 8 月 18 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1999 年 9 月に出版されました。以前は 2012 年 6 月に出版されました。

この規格は、AMHS ストレージ機器 (Stocker SEM) の特定機器モデル (SEM) を確立します。このモデルは、SEMI E30 の基本要件と選択された追加機能に加えて実装される機器の特性と動作で構成されます。この規格の目的は、ストッカー SEM 装置を自動化された (半導体製造やフラット パネル ディスプレイなど) 工場に統合しやすくすることです。この文書は、ファクトリー オートメーション コントローラー (ホスト) から見たストッカー SEM 装置の運用モデルを定義することでこれを実現します。この定義は、標準のホスト インターフェイスと機器の動作動作 (制御、状態モデル、データ レポートなど) を提供します。いくつかのトピックでは、この標準の範囲内にある追加のアクティビティが必要です。キューイング、キャリア転送用のパラレル インターフェイス [SEMI E23]、ストッカ コントローラ アーキテクチャ、および転送ユニットのスケジューリングと輸送です。

この規格の範囲は、GEM モデル (§ 13 で指定) に準拠する SEMI Equipment Communications Standard 2 (SECS-II) ホストによって認識される AMHS ストレージ機器 (ストッカ) の使用法と記述に限定されます。 SECS 通信リンクを介した機器のビューを定義します。機器の内部動作を定義するものではありません。このクラスのすべての機器の基礎として、特定の搬送コマンド状態モデルとストッカ コントローラ状態モデルが含まれています。

この文書は、GEM の基本要件と選択された追加機能 (§ 13 で指定) がストッカー SEM 装置に実装されていることを前提としています。これは、状態モデル (ストッカー コントローラー、搬送コマンド、キャリアおよびストッカー クレーンの状態モデル)、収集イベント、アラーム文書化、リモート コマンド、データ項目変数、および材料移動の領域における GEM 標準要件と機能を拡張します。

SEMI E4 — SEMI 機器通信標準 1 メッセージ転送 (SECS-I)
SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容の仕様 (SECS-II)
SEMI E23 — カセット転送パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM) の仕様
SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス
SEMI E37.1 — 高速 SECS メッセージ サービス単一選択セッション モード (HSMS-SS)
SEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様

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