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SEMI E88 - AMHS保管SEM（ストッカーSEM）の仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本標準は、global Information & Control Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2012年2月21日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 .orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1999年発行。前版は2007年3月発行。
注意: この文書は、編集上の修正を行い、再承認されました。
本標準はAMHSストッカー（ストッカーSEM）のための特定の装置モデル（ SEM ）を規定する。このモデルはSEMI E30の基本的な要求条件と選択追加機能に追加した装置特性と動作から除外している。 が意図するのは、ストッカーSEM準拠の装置を自動化工場（いわば、半導体組み立ておよびフラットパネルディスプレイ）へ統合し容易にすることである。 の運用モデルを定義することで，これを行うものである。 この定義で，標準ホストインタフェースと装置の動作動作（例，制御，状態モデル，データ報告）を提供する。 仕様の範囲内の動作に追加することが必要となる。
本基準の適用範囲はAMHSストッカー（ストッカー）の使用と説明に限定されるが、これはGEM モデル（§13にて規定している）準拠のSEMI装置通信標準2 （ SECS-II ）全体ホストまた、SECS通信リンク日常装置がどのように見えるか規定しているが、装置の内部動作は規定されていない。 およびSC状態モデルを含んでいます。
本標準ではGEM基本要求条件と選択追加性能（§13にて規定）がストッカーSEM準拠の装置に定着しているものと見なしている。 搬送コマンド，キャリアおよびストッカークレーン状態モデル），収集，警報文書，リモートコマンド，データ変数項目， および材料搬送の領域まで拡大している。
参照されるSEMI規格SEMI E4 — SEMI 機器通信標準 1 メッセージ転送 (SECS-I)
SEMI E5 — SEMI 機器通信規格 2 メッセージ内容 (SECS-II)
SEMI E23 — カセット転送パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E37 — 高速 SECS メッセージ サービス (HSMS) 汎用サービス
SEMI E37.1 — 高速 SECS メッセージ サービス単一選択セッション モード (HSMS-SS)
SEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様
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