SEMI E87 - キャリア管理 (CMS) の仕様 -

Abstract

この仕様は、標準化された動作を提供します。 ホストビュー調整中の生産設備との通信、 自動および手動による運送業者間の送金の実行と完了 機器と、存在する場合はその内部バッファスペース。

この仕様はホストと機器の通信を対象としています SEMI E15.1、300 mm ロード ポート用。

この仕様は、 自動および手動のキャリア転送におけるホストの知識と役割、および 内部バッファ装置のキャリア転送。具体的には、この仕様書は、 ホストとの対話を定義する状態モデルとシナリオを提供します。 以下のための機器:

- AMHS 車両と生産間のキャリア移動 機器のロードポート。

- 製造装置内部との間のキャリア搬送 バッファスペース。

- 機器およびロードポートのアクセスモードの切り替え。

- キャリアとロードポートの関連付け。

- CarrierID 検証および Carrier スロット マップ検証。

下位標準（付属）

SEMI E87.1-0921 — 仕様 キャリア管理 (CMS) 用の SECS-II プロトコル

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI E15.1 — 仕様 300 mm ツールロードポート

セミ E30 — 通信および制御のための汎用モデルの仕様 製造装置（GEM）

セミ E39 — オブジェクト サービス (OSS) 用の SECS-II プロトコルの仕様

セミ E40 — 処理管理の仕様

セミ E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様

SEMI E90 — 基板の仕様 追跡

SEMI E94 — 制御ジョブの仕様 管理

改訂履歴

SEMI E87-0921 (技術改訂)

SEMI E87-0619E (編集改訂版)

SEMI E87-0619 (技術改訂)

SEMI E87-0718 (技術改訂)

SEMI E87-1017 (指定更新)

SEMI E87-0312 (技術改訂)

SEMI E87-0709 (技術改訂)

SEMI E87-0707 (技術改訂)

SEMI E87-0706E2 (編集改訂版)

SEMI E87-0706E (編集改訂版)

SEMI E87-0706 (技術改訂)

SEMI E87-1105 (技術改訂)

SEMI E87-0705 (技術改訂)

SEMI E87-0304 (技術改訂)

SEMI E87-0703 (技術改訂)

SEMI E87-0303 (技術改訂)

SEMI E87-0702 (技術改訂)

SEMI E87-0302 (技術改訂)

SEMI E87-1101 (技術改訂)

SEMI E87-0701 (技術改訂)

SEMI E87-0301 (技術改訂)

SEMI E87-1000 (技術改訂)

SEMI E87-0600 (技術改訂)

SEMI E87-0200 (技術改訂)

SEMI E87-0999 (初公開)

SEMI E87.1-0921 (技術改訂)

SEMI E87.1-0619E (編集改訂)

SEMI E87.1-1017 (技術改訂)

SEMI E87.1-0707 (技術改訂)

SEMI E87.1-1105 (技術改訂)

SEMI E87.1-0702 (技術改訂)

SEMI E87.1-0302 (技術改訂)

SEMI E87.1-1101 (技術改訂)

SEMI E87.1-0701 (技術改訂)

SEMI E87.1-0301 (技術改訂)

SEMI E87.1-1000 (技術改訂)

SEMI E87.1-0200 (初公開)

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