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SEMI E87 - 캐리어 관리 사양 -
Volume(s):
Equipment Automation Software
Language:
Korean
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
이 표준은 기술적으로 Global Information & Control Technical Committee 에 의해 승인 되었으며, 해당 버전의 출판은 2012 년 12 월 20 일 Global Audits and Reviews Subcommitええ、 에 의해 승인되었다。 1995年 년에 초본이 출판되었고 이전 버전은 2008年 년 7 월에 출판되었다。 2013 年 4 月 4 日 www.semi.org にアクセスしてください。
이 표준은 장비 내부에 버퍼 공간 이 있는 경우와 장비에서 장비로 자동 및 수동 캐리어 전송의 조정(調整)、 실행 (実行)、완료 (完了) 표준화 된 작동 상태를 제공한다。
この製品は SEMI E15.1 300 mmの製品です。
이 문서(Document) 는 내부 버퍼 장비의 캐리어 전송 뿐만 아니라, 자동 및 수동 캐리어 전송에 있어 호스트 이해와 역할을 촉진시키는 표준(標準) 이다。 특히 이 문서(Document) 는 다음과 같이 장비와 호스트 상호작용을 정의하는 상태모델과 시나리오를 제공한다:
- AMHS 운송장비(車両) 와 생산 장비 로드 포트 사이의 캐리어 전송
- 생산 장비 내부 버퍼 공간에서 공간까지의 캐리어 전송
- 장비와 로드 포트 접근 모드 전환
- 로드 포트와 캐리어 연관성
- CarrierID 검증과 캐리어(キャリア) 슬롯 맵 검증
下位文書:
SEMI E87.1-0707 - キャリア管理 (CMS) 用の SECS-II プロトコルの暫定仕様
参照されるSEMI規格SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E30 — 製造装置の通信および制御のための汎用モデル (GEM)
SEMI E39 — オブジェクト サービス標準: 概念、動作、およびサービス
SEMI E62 — 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様
SEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI E90 — 基板トラッキングの仕様
SEMI E99 — キャリア ID リーダー/ライター機能標準: 概念、動作、およびサービスの仕様
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