SEMI E85 - 物理 AMHS ストッカからベイ間搬送システムへの相互運用性の仕様 -

Abstract

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この仕様は、300 mm 自動マテリアル ハンドリング システム (AMHS) 機器のベイ間ロード ポートの寸法要件を定義します。これは、さまざまな種類のベイ間機器間の物理的なインターフェイスを定義する必要な機能と寸法のリストを促進し、工場全体で見られるさまざまなマテリアルハンドリング要件を満たすためにさまざまな自動搬送システムの使用を促進することを目的としています。これは、ストッカーとベイ間搬送システムの両方が準拠する必要があるインターフェイスの 6 つのオプションを定義することによって行われます。定義されているオプションは次のとおりです。

·     オプション A: アクティブ トランスポートは、キャリアを内部ストッカー位置にロードします。

·     オプション B: アクティブ トランスポートは、キャリアを外部ストッカー位置にロードします。

·     オプション C: 受動的搬送はキャリアを内部ストッカー位置に送ります。

·     オプション D: 受動搬送: キャリアを外部ストッカー位置に送ります (キネマティック カップリング ピンのピックアップ)。

·     オプション E: 受動的搬送では、キャリアを外部のストッカー位置に送ります (コンベヤ フランジのピックアップ)。

·     オプション F: パッシブ搬送では、(a) 3 本すべてのキネマティック ピン、(b) 3 本すべての二次キネマティック ピン、または (c) 上部ロボット フランジのいずれかを使用して、ピックアップのためにキャリアを外部ストッカー位置に送ります。キャリアは、キャリアの前面が積載面に対して垂直になるように配置されます。

この規格は、300 mm AMHS インターベイ機器の物理インターフェイスのみを対象としています。 300 mm AMHS イントラベイ機器をカバーする同様の要件は、SEMI E15.1 でカバーされています。

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様

SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様

SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるボックスおよびポッドの機械仕様

SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせとサポートに使用されるキネマティックカップリングの仕様

SEMI E84 — 拡張キャリア ハンドオフ パラレル I/O インターフェイスの仕様

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