E08400 - SEMI E84 - 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 강화 사양

SEMI E84 - 캐리어 핸드오프 병렬 I/O 인터페이스 강화 사양 -

Member Price: ¥113
Non-Member Price: ¥31,900

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Korean

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Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI E84-1109 - 置き換えられました

リビジョン

Abstract

표준은 기술적으로 Global Physical Interfaces & Carriers Committee から2009 年 8 月 9 日 4 日 グローバル監査およびレビュー小委員会에 의해 승인되었다。 1999年6 月6日、 2007年11月11 日。 2009 年 10 月 www.semi.org に登録されています。

대용량 웨이퍼 사이즈로의 전환 으로, 향후 반도체 공장은 더 무거워 진FOUP 및 오픈 카세트(オープンカセット) 를 포함 하는 웨이퍼 캐리어(キャリア) 를 전송하기 위해서 대규모의 자동화된 재료 처리 시스템(AMHS) 을 사용할 것이다。 이에 생산 장비와 AMHS 간의 병렬 입/ 출력(PI/O) 컨트롤(制御) 신호는 생산 장비 로드 포트에서 보다 안정적이고 효율적인 캐리어(キャリア) 핸드오프(ハンドオフ) (로드/ 언로드) 를 위해 제정되어야한다。

이 표준의 목적은 캐리어(キャリア) 전송의 신뢰성과 효율성 개선 을 위해 SEMI E23 에서 정의된 병렬 I/O 인 터페이스의 기능을 강화하는 것이다。 향상된 기능에는 연속적인 핸드오프(ハンドオフ)、 동시 핸드오프(ハンドオフ) 및、 인터페이스상의 오류 감지 기 능이 포함되어 있다。

이 표준은 능동 장비( 예, AGV, RGV 및 OHT 가 포함된 AMHS 장비) 와 수동 장비( 예, 프로세스 및 계측 장 비 를 포함하는 생산 설비; 스토커 등) 간의 재료 핸드오프(ハンドオフ) 작업과 관련된 통신에 인터베이(インターベイ) AMHS 능동 장비( 즉, 전송 기기를 갖춘 OHS 와 스토커) 와 수 동 장비( 즉, 전송 기기가 갖추어지지 않은 OHS 와 스토커) 까지 확장된다。 이 표준은 생산 장비와 AMHS 간의 핸드오프(ハンドオフ) 캐리어(キャリア) 에 사용되는 향상된 병렬 I/O 인터페이스 신호를 나타낸다。図 1 と 2 は AHMS の機能を表します。

향상된 캐리어(キャリア) 핸드오프(ハンドオフ) 병렬 I/O 인터페이스 표준은 다음을 포함한다:

  • 로드 포트 할당 신호를 포함하는 신호 정의 (¶ 6.1)

  • 캐리어 (キャリア) 핸드오프(ハンドオフ) 시퀀스(シーケンス) 정의 및 시간 다이어그램 (¶ 6.2)

  • 오류 표시、 감지 및 복구 (¶ 6.3 과 ¶ 6.4)

  • 커넥터 유형、 신호 및 핀 할당 (¶ 6.4)

  • SEMI E15.1 가 정의한 로드 포트에 위치한 인터페이스 센서 단위 사이즈 (300mm 웨이퍼 캐리어(キャリア) 를 처리) 하도록 설계된 시스템에 적용)

향상된 캐리어(キャリア) 핸드오프(ハンドオフ) 병렬 I/O 인터페이스는 능동 장비 를 사용하여 수동 장비에서 센 고 받는 캐리어(キャリア) 의 핸드오프(ハンドオフ) 를 컨트롤(コントロール) 한다。 このI/O は、キャリア (キャリア) とハンドオフ (ハンドオフ) およびコントロール (コントロール) を表します。 핸드오프(ハンドオフ) 는 캐리어(キャリア) 가 장비의 한 부분에서 다른 부분으로 전송되는 작업이다。 능동 및 수동 장비 모두에서 이 작업을 관리하며, 공장 수준의 컨트롤러(controller 즉, 호스트) 는 핸 드오프(ハンドオフ) 운영을 관리하지 않는다。図 3 は I/O の概念を示しています。

参照されるSEMI規格

SEMI E1.9 — 300 枚のウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E23 — カセット転送パラレル I/O インターフェイスの仕様
SEMI E30 — 通信の汎用モデル

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