SEMI E63 - 300 mmボックスオープナ／ローダーと装置における標準（BOLTS-M） インターフェースの機械的仕様 -

Abstract

本基準は、global Physical Interfaces & Carriers Committee で技術的に承認されています。現版は2010年8 月27日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認されました。 .orgで入手可能となる。 初版は1997年に発行、前版は2004 年11 月に発行された。

本スタンダードは、プロセス装置または測定装置においてボックス上、 300 mmウェーハのアンロードおよびロードのためにウェーハハンドラにウェーハを渡すための装置側の機械的インターフェースを規定する。 つ以上の（ SEMI E15.1 に準拠した）ロードポートを所有しているとともに、空容器あるいは（装置のスループットを上げるための）待機ロット用のストッカーを所有していることもある。 ボックスオープナ／ローダーユニットは（ SEMI E47 .1、SEMI E62に準拠した）ボックスまたはポッドを扱うだけでなく（SEMI E1.9に準拠した）オープンカセットを扱う。のインタフェース規格によって規定する。

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様
SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E15.1 — 300 mm ツール ロード ポートの仕様
SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)
SEMI E47.1 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用される FOUPS の機械仕様
SEMI E57 — 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせと支持に使用されるキネマティックカップリングの機械仕様
SEMI E62 — 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様

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