SEMI E57 - 300 mm ウェーハキャリアの位置合わせとサポートに使用されるキネマティックカップリングの仕様 -

Abstract

この規格は、Physical Interfaces & Carriers Global Technical Committee によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 5 月 11 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2016 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1996 年に出版されました。以前は 2010 年 11 月に出版されました。

この規格は、300 mm ウェーハ キャリア (輸送カセット、プロセス カセット、石英ボート、ポッド、ロット ボックス、輸送ボックスを含む) を人間工学的に位置合わせし、正確にサポートするために使用される機械的カップリングを指定します。このような運動学的カップリングは、次のようないくつかのインターフェイスで使用できます。

• ボックスまたはカセットとツールロードポートまたは車両ネストの間、
• 輸送カセットとボックスの間、および
• プロセスカセットまたは石英ボートとプロセスチャンバーの床の間。

この規格は、すべての機械的インターフェースにおけるモジュール性と互換性を確保しながら、イノベーションに最小限の制限を設ける適切なレベルの仕様を設定することを目的としています。キネマティックカップリングの下半分のみが指定されているため、サプライヤーはこれと結合できるウェーハキャリアを柔軟に設計できます。

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)
SEMI E19.4 — 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)

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