E05700 - SEMI E57 - 300mmウェーハキャリアの位置決めおよびサポートのために使用されるキネマティックカプリングの機械仕様

SEMI E57 - 300mmウェーハキャリアの位置決めおよびサポートのために使用されるキネマティックカプリングの機械仕様 -

Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100

Volume(s): Equipment Automation Hardware
Language: Japanese

Status icon
Close
Learn about SEMIStandardsCopyrightPolicy/LicenceAgreements/System Requirement

Redline icon
Close
Learn about SEMIStandardsCopyrightPolicy/LicenceAgreements/System Requirement

Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI E57-0600 (再承認 1110) - 置き換えられました

リビジョン

Abstract

本基準は、global Physical Interfaces & Carriers Committee で技術的に承認されています。現版は2010年8 月27日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認されました。 .org で入手可能となる。 初版は1996年に発行、前版は2005 年3 月に発行された。

 

本スタンダードは、300mm径ウェーハキャリア（搬送用カセット、プロセスカセット、クォーツボート、ポッド、ロットボックス、シッピングボックスを含む）を人間工学的に設置し、正確にサポートするように使用される、自動位置決めこれらのキネマティックカプリングは次のようなインターフェースにおいて使用される。

・ボックスまたはカセットと装置ロードポートまたは搬送装置との間

・搬送用カセットとボックスとの間

・プロセスカセットまたはクォーツボートとプロセスチェンバーの底面との間

参照されるSEMI規格

SEMI E15 — ツールロードポートの仕様
SEMI E19 — 標準メカニカルインターフェース (SMIF)
SEMI E19.4 — 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)

Interested in purchasing additional SEMI Standards?

Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.

You May also Like