SEMI E56 - サーマルマスフローコントローラの精度、直線性、再現性、短期再現性、ヒステリシス、および不感帯を決定するための試験方法 -

Abstract

この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 12 月 8 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2004 年 11 月。以前は 2015 年 8 月に出版されました。

この文書の目的は、熱式質量流量コントローラー (MFC) の精度、直線性、再現性、短期再現性、ヒステリシス、および不感帯を定量化する標準化された方法を提供することです。

この文書の目的は、特定のテスト プログラムを提案することではなく、この方法でカバーされるパラメータをテストするときに使用するテスト方法を指定することです。ユーザーはこのドキュメントを使用して、厳密に制御された一連のテスト条件下での精度、精度、バイアス、再現性、直線性、短期再現性、デッドバンドなどの重要な性能特性をチェックできます。

この方法における精度計算の重要性は、MFC ユーザーがプロセス制御を維持しながら、ある製造ツールから別の製造ツールにプロセスを移行し、単一の製造ツール内で MFC を交換できるようにすることです。

この文書では、サーマル MFC の精度、直線性、再現性、ヒステリシス、および不感帯をテストするための条件と手順について説明します。この文書は一般的な性質を持っているため、すべてのテスト手順がすべてのタイプの MFC に適用されるわけではありません。

この文書は、メーカーとユーザーの間のコミュニケーションのための共通の基盤を提供しました。

SEMI E17 — マスフローコントローラー過渡特性試験ガイド

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